光学干涉波面数字化处理方法与应用

计算物理 ›› 2003, Vol. 20 ›› Issue (6): 514-520.

光学干涉波面数字化处理方法与应用

莫卫东

空军工程大学工程学院, 陕西西安 710038

收稿日期:2002-05-10 修回日期:2003-01-23 出版日期:2003-11-25 发布日期:2003-11-25
作者简介:奠卫东(1959-),男.广西合浦,副教授,硕士,从事精密光学测量与激光应用方面的研究.

Application and Methods to Fit Optical Interference Wave Surface with Quantizing Technique

MO Wei-dong

Engineering College, Air Force Engineering University, Xi'an 710038, China

Received:2002-05-10 Revised:2003-01-23 Online:2003-11-25 Published:2003-11-25

摘要/Abstract

摘要： 全面论述了激光数字平面检测系统中的核心技术——干涉波面数字化分析理论和处理方法,对光学干涉波面的拟合函数系的选择、拟合算法以及系统像差和被测表面平面误差类型判定方法进行了深入研究,提出了在"Zernike像差空间"确定激光数字平面检测系统精度的理论和方法.

关键词: 数字化干涉波面, 误差分析, Zernike多项式拟合, 精度评价

Abstract: Selection of function family and algorithm to fit optical interference wave surface, system aberration and methods to classify the type of surface shape in analysis of plane error with Zernike polynomials are researched in depth. A new theory and method is put out with an error theory to appraise precision of the system objectively to inspect surfaces of the optical plane glass with laser quantizing technique.

Key words: quantizing interference wave surface, error analysis, Zernike polynomials fitting, precision appraising

中图分类号:

O436

莫卫东. 光学干涉波面数字化处理方法与应用[J]. 计算物理, 2003, 20(6): 514-520.

MO Wei-dong. Application and Methods to Fit Optical Interference Wave Surface with Quantizing Technique[J]. CHINESE JOURNAL OF COMPUTATIONAL PHYSICS, 2003, 20(6): 514-520.

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