计算物理 ›› 2014, Vol. 31 ›› Issue (2): 185-190.

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中子深度定量分析的相对分析法

王姝驭, 李润东, 唐彬, 窦海峰, 杨鑫, 袁姝, 高产, 冷军   

  1. 中国工程物理研究院 核物理与化学研究所, 四川 绵阳 621900
  • 收稿日期:2013-05-08 修回日期:2013-10-11 出版日期:2014-03-25 发布日期:2014-03-25
  • 作者简介:王妹驭(1979-),女,硕士,助理研究员,主要从事核物理研究,E-mail:xiaoyin99117@163.com
  • 基金资助:
    中国工程物理研究院中子物理学重点实验室基金(2013BB01)资助项目

Relative Method of Quantitative Analysis for Neutron Depth Profiling

WANG Shuyu, LI Rundong, TANG Bin, DOU Haifeng, YANG Xin, YUAN Shu, GAO Chan, LENG Jun   

  1. Institute of Nuclear Physics and Chemistry, CAEP, P. 0. Box 919-213, Mianyang 621900, China
  • Received:2013-05-08 Revised:2013-10-11 Online:2014-03-25 Published:2014-03-25

摘要: 在中子深度分析中,为了定量分析样品中某种元素的含量,采用与标准样品测量范围内的总离子计数进行比对的方法,对相对定量分析技术进行研究.主要应用最小二乘法,根据实验情况,在能量展宽修正与深度分布反演的基础上,进行定量分析的理论公式推导与FORTRAN编程;并且进行了模拟实验数据研究,通过对样品中10B元素进行定量分析,验证相对定量分析方法的可行性.经验证,采用同类标准样品对未知样品的相同元素进行对比测量的定量分析法是可行的.

关键词: 中子深度分析, 相对定量分析, 最小二乘法

Abstract: To get element quantity of a sample in neutron depth profiling,method of standard sample's general ions quantity in measurement scope is used to relative quantity analysis technology. The least square method is used. According to actual experiment condition and on the base of energy width modification and depth distribution unfolding analysis,formula of quantitative analysis is deduced and programmed with FORTRAN. Experiment simulation is used to quantify10B element of a sample to validate feasibility of the method. It shows that quantifying element of a sample by comparing with normal sample is feasible.

Key words: neutron depth profiling, relative quantity analysis, least square method

中图分类号: