平板CO2激光器中α型RF放电的理论研究

计算物理 ›› 1999, Vol. 16 ›› Issue (5): 536-542.

平板CO₂激光器中α型RF放电的理论研究

吴龟灵, 王又青, 丘军林, 王新兵

武汉华中理工大学激光技术国家重点实验室, 430074

收稿日期:1998-06-16 修回日期:1999-02-12 出版日期:1999-09-25 发布日期:1999-09-25
作者简介:吴龟灵,男,27,硕士,华中理工大学西十三舍-35信箱,300074
基金资助:
激光技术国家重点实验室资助

Theoretical study on α-rf discharges in planar CO₂ lasers

Wu Guiling, Wang Youqing, Qiu Junlin, Wang Xinbing

National Lab of Laser Tech, Wuhan 430074

Received:1998-06-16 Revised:1999-02-12 Online:1999-09-25 Published:1999-09-25

摘要/Abstract

摘要： 由稳态时粒子数和电流连续性方程及带电粒子的能量平衡方程,建立了α型平板RF放电等离子体的理论模型,并用数值方法求得射频放电等离子体中粒子数密度、电场、功率密度、激发效率的空间分布,解释了RF放电的辉纹结构,分析了放电参数对放电特性的影响。

关键词: 射频放电, 平板CO₂激光器, α型放电, 等离子体

Abstract: A theoretical model to describe the discharges in the RF excited planar CO₂ lasers is established.The spatial distributions of electron density,electric field,power density and the excitation efficiency for the upper laser level are obtained by numerical method.The discharge striations in RF excited lasers observed by experiments are explained.The relations between parameters and characters of the discharge are analyzed.

Key words: RF dischargs, planar CO₂ lasers, α-discharge, plasma

中图分类号:

O53
TN241

吴龟灵, 王又青, 丘军林, 王新兵. 平板CO₂激光器中α型RF放电的理论研究[J]. 计算物理, 1999, 16(5): 536-542.

Wu Guiling, Wang Youqing, Qiu Junlin, Wang Xinbing. Theoretical study on α-rf discharges in planar CO₂ lasers[J]. CHINESE JOURNAL OF COMPUTATIONAL PHYSICS, 1999, 16(5): 536-542.

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Theoretical study on α-rf discharges in planar CO₂ lasers

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