keV和低于keV的电子在固体中散射理论、计算方法及有关应用

计算物理 ›› 1989, Vol. 6 ›› Issue (1): 19-26.

keV和低于keV的电子在固体中散射理论、计算方法及有关应用

何延才¹, 陈家光²

1. 中国科学院上海硅酸盐研究所;
2. 上海宝山钢铁总厂研究室

收稿日期:1987-11-03 出版日期:1989-03-25 发布日期:1989-03-25
基金资助:
国家自然科学基金

THEORIES AND CALCULATION METHODS OF ELECTRON (KEV AND BELOW KEV)SCATTERING IN SOLIDS AND RELATED APPLICATIONS

He Yancai¹, Chen Jiaguang²

1. Shanghai Institute of Ceramics, Academica Sinica;
2. Research Department, Shanghai Baoshan Steel works

Received:1987-11-03 Online:1989-03-25 Published:1989-03-25

摘要/Abstract

摘要： 本文讨论了keV和低于keV的电子在固体中散射的一般理论及Monte Carlo模拟计算方法,介绍了在电子显微学、电子束曝光等重要研究领域的一些应用实例。

何延才, 陈家光. keV和低于keV的电子在固体中散射理论、计算方法及有关应用[J]. 计算物理, 1989, 6(1): 19-26.

He Yancai, Chen Jiaguang. THEORIES AND CALCULATION METHODS OF ELECTRON (KEV AND BELOW KEV)SCATTERING IN SOLIDS AND RELATED APPLICATIONS[J]. CHINESE JOURNAL OF COMPUTATIONAL PHYSICS, 1989, 6(1): 19-26.

keV和低于keV的电子在固体中散射理论、计算方法及有关应用

THEORIES AND CALCULATION METHODS OF ELECTRON (KEV AND BELOW KEV)SCATTERING IN SOLIDS AND RELATED APPLICATIONS

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