摘要： 根据作者发展的理论和计算方法[1-8],编制了有衬底薄膜厚度测定的计算程序。本程序使用方便,已广泛应用于各类功能薄膜材料的测定计算中。
何延才, 黄月鸿, 胡敏. 薄膜微区厚度测定计算程序——Monte Carlo模拟[J]. 计算物理, 1987, 4(3): 380-384.
He Yan-cai, Huang Yue-hong, Ha Min. A CALCULATION PROGRAM OF DETERMINING THICKNESSES OF THIN FILMS ON SUBSTRATES BY MONTE CARLO SIMULATION[J]. CHINESE JOURNAL OF COMPUTATIONAL PHYSICS, 1987, 4(3): 380-384.
