检索结果

期刊

出版年

关键词

Please wait a minute...

选择:

导出引用
EndNote Ris BibTeX

显示/隐藏图片

Select

电子束曝光中的蒙特卡罗方法

魏茂新, 王建琨, 乔谊正

计算物理 1986, 3 (4): 415-423.

摘要（259）

PDF （504KB）（968）

本文用蒙特卡罗方法模拟了散射电子束在PMMA电子束胶层中的能量沉积分布。为兼顾节约计算机CPU运行机时和物理概念的严谨性而提出了混合式步长的模拟方法。在处理电子穿越胶-衬底的边界时,本文采用宁一种几率确定法,用以判断电子是否在界面处发生一次弹性散射。得出了电子在胶层中的前散射和背散射的能量沉积分布图。

作者中心

审稿中心

期刊浏览

期刊介绍