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平板CO₂激光器中α型RF放电的理论研究

吴龟灵, 王又青, 丘军林, 王新兵

计算物理 1999, 16 (5): 536-542.

摘要（227）

PDF （277KB）（1197）

由稳态时粒子数和电流连续性方程及带电粒子的能量平衡方程,建立了α型平板RF放电等离子体的理论模型,并用数值方法求得射频放电等离子体中粒子数密度、电场、功率密度、激发效率的空间分布,解释了RF放电的辉纹结构,分析了放电参数对放电特性的影响。