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ECR微波等离子体离子输运的数值模拟

宫野, 宋远红, 温晓军, 邓新绿

计算物理 2001, 18 (2): 152-156.

摘要（280）

PDF （158KB）（1298）

建立了ECR微波等离子体源离子输运的平板和圆柱模型,对离子历经的空间区域的输运过程进行了数值研究.采用Monte Carlo(MC)方法模拟了存在外磁场情况下,离子离开放电室后历经中性区、鞘层区、最后被加负偏压的工件表面吸收的全过程.考虑了离子与中性粒子的电荷交换碰撞和弹性散射,统一处理了中性区和鞘层区电势的衔接.采用曲线拟合,电势自洽迭代方法把中性区和鞘层区衔接起来,得到了光滑自洽的电势分布曲线和鞘层区不同位置处的速度分布、能量分布及角分布.

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等离子体源离子注入鞘层随时空演化的数值模拟

宋远红, 宫野, 王德真

计算物理 1995, 12 (4): 528-534.

摘要（264）

PDF （458KB）（1048）

在等离子体源离子注入装置中(PSⅡ),靶被直接放入均匀等离子体源中,并在其上加负高压脉冲,从而使靶的周围形成了一个只存在离子的等离子体鞘层,离子以较高速度注入靶中。利用冷流体方程和泊松方程组成的非线性方程组对一维平面几何鞘层时空演化过程进行数值模拟,所采用的负高电势脉冲波形为方波和梯形波,得到了电子密度、离子密度、电势分布的时空演化曲线,并首次对梯形波下降沿时间内鞘层时空演化作了详细讨论。

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