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EACVD低温合成金刚石薄膜中非线性电场的数值模拟

赵庆勋, 张靖, 辛红丽, 文钦若, 杨景发

计算物理 2003, 20 (5): 399-402.

摘要（281）

PDF （192KB）（1041）

采用蒙特卡罗模拟方法,研究了电子辅助热丝化学气相沉积(EACVD)技术低温合成金刚石薄膜过程中反应区的非线性电场分布.结果表明:阳极基片附近反应区电场的空间分布按指数规律变化,在一定的偏压条件下,随着气压的变化阳极附近将出现反向电场,对于金刚石薄膜的低温合成中的正离子分子,该反向电场起重要作用.