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电子束曝光中的蒙特卡罗方法

魏茂新, 王建琨, 乔谊正

计算物理 1986, 3 (4): 415-423.

摘要（259）

PDF （504KB）（968）

本文用蒙特卡罗方法模拟了散射电子束在PMMA电子束胶层中的能量沉积分布。为兼顾节约计算机CPU运行机时和物理概念的严谨性而提出了混合式步长的模拟方法。在处理电子穿越胶-衬底的边界时,本文采用宁一种几率确定法,用以判断电子是否在界面处发生一次弹性散射。得出了电子在胶层中的前散射和背散射的能量沉积分布图。

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用计算物理方法处理离子注入问题之一——非晶靶中的射程及能量分布计算

徐淮琪, 魏茂新

计算物理 1986, 3 (3): 375-382.

摘要（212）

PDF （456KB）（1078）

本文采用计算物理方法来处理离子注入问题。计算机模拟方式采用MonteCarlo方法。本文将各种复杂组成和各种复杂结构的靶材料归结为三种基本概率函数,再用直接抽样法把给定的任意复杂形式的靶结构转换为简单、均匀、单元素的靶结构,从而可对任意形式的靶结构的离子注入问题进行计算。本文还给出了确定最大碰撞参量的经验公式。

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