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薄膜微区厚度测定计算程序——Monte Carlo模拟
何延才, 黄月鸿, 胡敏
计算物理 1987, 4 (
3
): 380-384.
摘要
（
240
）
PDF
（379KB）（
895
）
可视化
根据作者发展的理论和计算方法
[1-8]
,编制了有衬底薄膜厚度测定的计算程序。本程序使用方便,已广泛应用于各类功能薄膜材料的测定计算中。
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