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一维原子刻蚀的数值模拟
何明, 李若虹, 王晓锐, 王谨, 詹明生
Numerical Simulation of One-dimensional Atom Lithography
HE Ming, LI Ruo-hong, WANG Xiao-rui, WANG Jin, ZHAN Ming-sheng
计算物理 . 2004, (
3
): 327 -332 .