计算物理
低能电子束曝光中的Monte-Carlo方法及沉积能分布
谭震宇, 何延才
MONTE CARLO METHOD AND ENERGY DISSIPATION DISTRIBUTION IN LOW-ENERGY ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY
Tan Zhenyu, He Yancai
计算物理 . 1997, (S1): 499 -501 . 

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