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电子束在LB抗蚀层及衬底中散射轨迹的Monte-Carlo模拟
鲁武, 顾宁, 陆祖宏, 韦钰
Electron Beam Scattering Trajectories in Langmuir-Blodgett Resists and Substrates: A Monte-Carlo Simulation
Lu Wu, Gu Ning, Lu Zuhong, Wei Yu
计算物理 . 1994, (
3
): 297 -302 .