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2
/Ti微空心阴极放电等离子体阴极溅射模拟
高书侠, 张素, 孟秀兰, 张连珠
Numerical simulation of Titanium Cathode Sputtering in Nitrogen Microhollow Cathode Discharge
GAO Shuxia, ZHANG Su, MENG Xiulan, ZHANG Lianzhu
计算物理 . 2013, (
3
): 396 -402 .