物理溅射的Monte Carlo模拟
崔福斋, 李文治, 李恒德, 郑里平
MONTE CARLO STMULATION OF PHYSICAL SPUTTERING
Cui Fu-zhai, Li Wen-zhi, Li Heng-de, Zheng Li-ping
计算物理 . 1988, (2): 235 -240 .