射频辉光放电CH4等离子体中电子的能量分布
吕少波, 蔺增, 王庆, 巴德纯
Electron Energy Distribution in Radio-frequency CH4 Plasma
LV Shaobo, LIN Zeng, WANG Qing, BA Dechun
计算物理 . 2011, (2): 250 -258 .