周期栅格结构表面的零反射现象

计算物理 ›› 2011, Vol. 28 ›› Issue (3): 427-432.

周期栅格结构表面的零反射现象

王海涛, 叶宏

中国科学技术大学热科学和能源工程系, 安徽合肥 230027

收稿日期:2010-03-31 修回日期:2010-06-17 出版日期:2011-05-25 发布日期:2011-05-25
通讯作者: 叶宏,E-mail:hye@ustcc.edu.cn
作者简介:王海涛(1982-),男,辽宁本溪,博士,主要从事航天器热控和微纳米尺度辐射的研究,中国科学技术大学热科学和能源工程系230027

Zero-reflectance at Surface of Periodic Grating Structures

WANG Haitao, YE Hong

Department of Thermal Science and Energy Engineering, University of Science and Technology of China, Hefei 230027, China

Received:2010-03-31 Revised:2010-06-17 Online:2011-05-25 Published:2011-05-25

摘要/Abstract

摘要： 为研究周期微栅格对材料法向反射特性的影响规律,利用时域有限差分(FDTD)方法计算周期在6~14μm之间的一维硅栅格结构的光谱法向反射率,通过选择合适的栅格轮廓和参数,在不同波长位置实现零反射现象.在此基础上分析三角形栅格的深度H和刻蚀宽度L对其光谱法向反射率的影响,发现在3.23μm和8.7μm附近实现零反射现象的最佳栅格参数.

关键词: 周期栅格, 零反射, 反射率, 时域有限差分方法

Abstract: Periodic gratings with different shapes are designed to study spectral reflectivity in normal direction using finite-difference time-domain method.It shows that very low reflectivity in wavelengths can be found with proper grating structures and even zero-reflectance can be found.Influences of depth and slot width of triangle gratings on reflectance are investigated.Parameters for a triangle grating with very low reflectivity in wave bands of 2.75-3.23 μm and 3.84-4.88 μm are found.

Key words: periodic grating, zero-reflectance, reflectivity, FDTD method

中图分类号:

O436.1
TKl24

王海涛, 叶宏. 周期栅格结构表面的零反射现象[J]. 计算物理, 2011, 28(3): 427-432.

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