Monte Carlo方法计算低能电子作用下固体背散射电子发射及空间分布

计算物理 ›› 2001, Vol. 18 ›› Issue (3): 253-258.

Monte Carlo方法计算低能电子作用下固体背散射电子发射及空间分布

谭震宇¹, 何延才²

1. 山东大学电气工程学院, 山东济南 250061;
2. 中国科学院上海硅酸盐研究所, 上海 200050

收稿日期:1999-11-22 修回日期:2000-05-18 出版日期:2001-05-25 发布日期:2001-05-25
作者简介:谭震宇(1957-),男,贵州,教授,硕士,从事电了与同体相互作用Monte Cario方法应用研究.

EMISSION AND SPATIAL DISTRIBUTIONS OF BSEs IN SOLIDS UNDER THE ACTION OF LOW ENERGY ELECTRON BY MONTE CARLO SIMULATION

TAN Zhen-yu¹, HE Yan-cai²

1. College of Electrical Engineering, Shandong University, Jinan 250061, P R China;
2. Shanghai Institute of Ceramics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, P R China

Received:1999-11-22 Revised:2000-05-18 Online:2001-05-25 Published:2001-05-25

摘要/Abstract

摘要： 应用Monte Carlo方法,对能量E₀≤5keV低能电子作用下固体Al、Cu、Ag、Au的背散射电子发射及表面空间分布作了计算.模型应用Mott散射截面及修正的Bethe方程分别描述低能电子在固体中的弹性和非弹性散射.计算了背散射电子能量分布、表面空间分布、深度分布和角分布规律及特征,还计算分析了背散射电子角分布与深度分布、表面空间分布及能量分布之间的关系,系统地描述了背散射电子的发射及分布规律.

关键词: Monte Carlo方法, 低能电子散射, 空间分布, 背散射电子

Abstract: Using Monte Carlo method, both emission and spatial distributions of the backscattered electrons (BSEs) of the solids Al,Cu,Ag,Au under the action of low energy electrons with energy E₀ ≤ 5keV keV have been simulated and calculated. Mott cross section and the modified Bethe equation are used to describe the elastic and inelastic scattering of electrons in solids, respectively. The energy distribution, surface spatial distribution, depth distributioin in solids and angle distribution of BSEs have been obtained. The dependence of angle distribution of BSEs on the energy distribution, surface spatial distribution and depth distribution of BSEs are also calculated, describing the distribution regularity and emission of BSEs systematically.

Key words: Monte Carlo method, low-energy electron scattering, spatial distribution, backscattered electron

中图分类号:

O562.5

谭震宇, 何延才. Monte Carlo方法计算低能电子作用下固体背散射电子发射及空间分布[J]. 计算物理, 2001, 18(3): 253-258.

TAN Zhen-yu, HE Yan-cai. EMISSION AND SPATIAL DISTRIBUTIONS OF BSEs IN SOLIDS UNDER THE ACTION OF LOW ENERGY ELECTRON BY MONTE CARLO SIMULATION[J]. CHINESE JOURNAL OF COMPUTATIONAL PHYSICS, 2001, 18(3): 253-258.

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