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物理溅射的Monte Carlo模拟
崔福斋, 李文治, 李恒德, 郑里平
计算物理
1988, 5 (2):
235-240.
模拟载能离子在固体传输及原子碰撞级联过程的Monte Carlo程序TCIS,已用于考察物理溅射问题。溅射过程中,低能原子碰撞是很重要的。因此,本文详细研究了二体碰撞计算中时间积分τ的数值大小及其对溅射计算的影响。对TCIS模拟溅射物理模型、输入参数作了介绍,并给出某些模拟研究结果。模拟程序可提供溅射的原子水平的信息,这对于开展有关机理的研究是很有用的。
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