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一维原子刻蚀的数值模拟
何明, 李若虹, 王晓锐, 王谨, 詹明生
计算物理 2004, 21 (
3
): 327-332.
摘要
（
234
）
PDF
（326KB）（
960
）
可视化
通过直接的数值模拟,分析了原子束在激光驻波场下传播的动力学行为.估计了Cr原子沉积在基片上的焦点的大小,同时还发现一些实验参数会影响原子刻蚀的精度:如原子束的速度分布、激光的失谐量和激光束的直径等.
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