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采用壳层效应屏蔽长度Monte Carlo方法计算溅射产额
李之杰, 王泽辉, 川村孝一, 山村泰道
计算物理 2002, 19 (
4
): 290-292.
摘要
（
364
）
PDF
（142KB）（
1062
）
可视化
使用ACAT模拟程序计算了不同离子碰撞在单原子材料上的溅射产额.采用山村等人提出的考虑壳层效应的理论屏蔽长度,原子间作用势用Moliére势.并将计算结果与实验数据和山村等的经验公式进行了比较.
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