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氮气射频放电与直流放电PIC/MC模拟的比较
张连珠, 赵海涛, 孙倩, 姚福保, 杨巍
计算物理
2012, 29 (2):
227-233.
建立氮气容性射频等离子体过程的PIC/MC模型,将模拟结果与直流放电进行比较.结果表明:射频等离子体粒子(e,N2+,N+)的平均密度较直流放电约大-个量级,在射频电极附近粒子(e,N2+,N+)的平均能量比直流放电阴极附近的能量低3倍左右;密度偏低的原子离子N+在两电极附近具较高的能量,能量较低的分子离子N2+在放电空间具较高密度,N2+的密度大约是N+的6倍;计算的电子能量几率分布与测量结果-致.
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