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电子束在LB抗蚀层及衬底中散射轨迹的Monte－Carlo模拟
鲁武, 顾宁, 陆祖宏, 韦钰
计算物理 1994, 11 (
3
): 297-302.
摘要
（
209
）
PDF
（322KB）（
639
）
可视化
研究了高能电子束在LB膜及多层膜中的输运特性,用Monte-Carlo技术模拟了电子在LB聚甲基丙烯酸甲酯抗蚀层及蒸镀有铬膜的硅衬中的散射轨迹,并讨论了电子束曝光刻蚀中应用LB膜作抗蚀层的优越性。
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