蒙特卡罗法模拟新型扫描电镜的工作原理

计算物理 ›› 2001, Vol. 18 ›› Issue (5): 470-472.

蒙特卡罗法模拟新型扫描电镜的工作原理

蒋昌忠, 李承斌

武汉大学物理科学与技术学院, 湖北武汉 430072

收稿日期:2001-01-28 修回日期:2001-04-09 出版日期:2001-09-25 发布日期:2001-09-25
作者简介:蒋昌忠(1962-),男,湖北公安,副教授,博士,从事电子束离子束与物质相互作用方面的研究.
基金资助:
国家自然科学基金(10045001;10050001);教育部骨干教师基金;武汉大学邵逸周研究基金资助项目

MONTE CARLO SIMULATION OF THE PRINCIPLE OF A NEW SCANNING ELECTRON MICROSCOPE

JIANG Chang-zhong, LI Cheng-bin

School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan 430072, P R China

Received:2001-01-28 Revised:2001-04-09 Online:2001-09-25 Published:2001-09-25

摘要/Abstract

摘要： 根据新型分析扫描电子显微镜的工作原理及载能电子束和固体相互作用原理,利用蒙特卡罗方法模拟入射电子和靶物质的相互作用过程,编制了蒙特卡罗模拟计算程序,获得了对应不同电镜工作参数的入射电子背散射率.

关键词: 蒙特卡罗方法, 模拟计算程序, 扫描电子显微镜, 背散射电子

Abstract: According to the principle of a new scanning electron microscope and the mechanism of the interaction between electron beam and solid target,the trajectories of an incident electron in a sample are simulated,a simulation program is compiled using the Monte Carlo method,and the backscattering coefficients corresponding to different parameters of the SEM are obtained.

Key words: Monte Carlo method, simulation program, scanning electron microscope, backscattered electron

中图分类号:

TN16

蒋昌忠, 李承斌. 蒙特卡罗法模拟新型扫描电镜的工作原理[J]. 计算物理, 2001, 18(5): 470-472.

JIANG Chang-zhong, LI Cheng-bin. MONTE CARLO SIMULATION OF THE PRINCIPLE OF A NEW SCANNING ELECTRON MICROSCOPE[J]. CHINESE JOURNAL OF COMPUTATIONAL PHYSICS, 2001, 18(5): 470-472.

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