氩辉光放电中离子轰击阴极的蒙特卡罗模拟

计算物理 ›› 1993, Vol. 10 ›› Issue (2): 215-219.

氩辉光放电中离子轰击阴极的蒙特卡罗模拟

王德真, 宫野, 马腾才

大连理工大学, 三束材料改性国家重点实验室, 大连 116024

收稿日期:1992-01-25 修回日期:1992-02-07 出版日期:1993-06-25 发布日期:1993-06-25
基金资助:
国家自然科学基金

A MONTE CARLO SIMULATION OF IONS STRIKING THE CATHODE IN A ARGON GLOW DISCHARGE

Wang Dezhen, Gong Ye, Ma Tangcai

The Key National Laboratory of Material Modification by Beam Three, Dalian University of Technology, 116024

Received:1992-01-25 Revised:1992-02-07 Online:1993-06-25 Published:1993-06-25

摘要/Abstract

摘要： 由蒙特卡罗方法模拟离子在氩直流辉光放电阴极位降区的运动,包括了离子与中性原子的电荷交换碰撞和弹性散射,得到了离子轰击阴极的能量分布和入射角分布。对于只考虑电荷交换碰撞的情形,比较了蒙特卡罗模拟结果和玻尔兹曼方程的解析结果,得到了完全相同的的离子轰击阴极的能量分布。模拟结果还表明绝大部分离子近于垂直入射阴极。

关键词: 辉光放电, 蒙特卡罗方法, 能量分布

Abstract: A Monte Carlo simulation method that includes charge exchange and elastic scattering is used to calculate the energy and angular distribution of ions striking the cathode in a DC argon glow discharge. For the case that charge exchange is the only collision process, the Monte Carlo results can be checked by the analytical solution of the Boltzmann equation. In that case, both methods yield the same ion impact energy distribution. The results of the simulation show that the most of ions almost vertically incident on the cathode.

Key words: glow discharge, Monte Carlo method, energy distribution

王德真, 宫野, 马腾才. 氩辉光放电中离子轰击阴极的蒙特卡罗模拟[J]. 计算物理, 1993, 10(2): 215-219.

Wang Dezhen, Gong Ye, Ma Tangcai. A MONTE CARLO SIMULATION OF IONS STRIKING THE CATHODE IN A ARGON GLOW DISCHARGE[J]. CHINESE JOURNAL OF COMPUTATIONAL PHYSICS, 1993, 10(2): 215-219.

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