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N
2
/Ti微空心阴极放电等离子体阴极溅射模拟
高书侠, 张素, 孟秀兰, 张连珠
计算物理 2013, 30 (
3
): 396-402.
摘要
（
311
）
PDF
（1794KB）（
1172
）
可视化
采用Monte Carlo方法模拟N
2
/Ti微空心阴极放电等离子体阴极溅射过程,其中,氮离子(N
2
+
,N
+
)轰击阴极表面采用PIC/MC模型模拟.计算溅射钛原子的热化过程、钛原子的密度及其平均能量分布.结果表明,沿各方向溅射出的90%金属Ti原子所带的初始能量小于30 eV,其散射角主要分布在30°和60°之间;溅射Ti原子在离微空心阴极壁约0.04 mm处出现热化极大值.
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多维度评价
Select
氮气射频放电与直流放电PIC/MC模拟的比较
张连珠, 赵海涛, 孙倩, 姚福保, 杨巍
计算物理 2012, 29 (
2
): 227-233.
摘要
（
273
）
PDF
（392KB）（
1089
）
可视化
建立氮气容性射频等离子体过程的PIC/MC模型,将模拟结果与直流放电进行比较.结果表明:射频等离子体粒子(e,N
2
+
,N
+
)的平均密度较直流放电约大-个量级,在射频电极附近粒子(e,N
2
+
,N
+
)的平均能量比直流放电阴极附近的能量低3倍左右;密度偏低的原子离子N
+
在两电极附近具较高的能量,能量较低的分子离子N
2
+
在放电空间具较高密度,N
2
+
的密度大约是N
+
的6倍;计算的电子能量几率分布与测量结果-致.
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多维度评价
Select
等离子体金属表面氮化中放电温度对氮原子态粒子的影响
张连珠, 于富强, 孔令宜, 何琪
计算物理 2004, 21 (
2
): 173-178.
摘要
（
262
）
PDF
（256KB）（
963
）
可视化
采用快电子和重粒子(N
2
+
,N
+
,N
f
)混合的Monte Carlo模型,研究了氮直流辉光放电等离子体金属表面氮化过程中.e-N
2s
及N
2
+
-N
2s
两种碰撞离解过程产生的原子态粒子(N
+
,N)的产生率和氮化粒子(N
+
,N
f
)轰击靶表面的能量、粒子数密度及入射角分布随气体温度的变化规律.结果表明,使阴极靶处活性粒子(N
+
,N
f
)的能量高且粒子数密度大,存在一个最佳放电温度;粒子(N
+
,N)的产生率及在靶表面的密度数都随着放电气体温度的升高而减少;有大量中性快原子N
f
在工件表面小角入射,且粒子(N
+
,N
f
)角分布受温度的影响很小.
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多维度评价
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宏观放电参数对快原子态氮(N
+
,N
f
)的影响
张连珠
计算物理 2003, 20 (
5
): 403-407.
摘要
（
210
）
PDF
（219KB）（
994
）
可视化
采用氮直流辉光放电等离子体中快电子和重粒子(N
2
+
,N
+
,N
f
)混合的蒙特卡罗方法,模拟研究了快原子态粒子(N
+
,N
f
)的产生率及轰击阴极的能量分布随宏观放电参数(
P
,
V
)的变化规律.结果表明,存在一最佳放电条件,使阴极壁处粒子(N
+
,N
f
)的粒子数密度大且能量高;当电压大于800V时,轰击阴极的活性粒子(N
+
,N
f
),主要由N
2
+
-N
2
离解过程产生,电压小于300V时,主要由e
-
-N
2
离解过程产生,模拟结果与实验结果相符合.
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多维度评价
